近日，专注于带电粒子光学技术的国产电镜新势力屹东光学技术（苏州）有限公司（以下简称“屹东光学”或“公司”）完成了数千万元Pre-A轮融资。本轮融资由国科创投、敦行资本和乾融资本联合投资，募集资金主要用于扫描电镜等系列产品的研发迭代以及扩大生产能力。

　　屹东光学成立于2022年4月，由中国科学院苏州生物医学工程技术研究所孵化而来，团队成员主要来自国际著名电镜厂家、各大高校及研究所的专家和资深技术人员。公司聚焦于带电粒子束（电子束/离子束）显微镜及附属设备的研发、生产和销售，并于2023年10月发布第一款高分辨率热场发射扫描电镜产品“YF-1801”。该产品分辨率为1nm，集高分辨率、易用性、可拓展性等多项特点于一体，发布后即引起市场极大关注。

　　公司亦在2023年底获批科技部2023国家重点研发计划“基础科研条件与重大装备研发”重点专项“场发射扫描电子显微镜”项目，目前正在开发具有更高分辨率和更强功能的第二代场发射扫描电子显微镜产品。此外，公司基于扎实的研发及产品化能力，迅速推出等离子体清洗仪等辅助设备，受到客户青睐。

　　扫描电子显微镜是一类功能强大且用途广泛的大型精密仪器，其利用聚焦的电子束在样品表面扫描，通过收集样品表面激发的各类信号来成像，以揭示材料的微观形貌和成分信息，在科研、半导体、生物医药、石油地矿等行业和领域发挥着重要作用。按照设备的体积及安装方式的不同扫描电镜可分为台式和落地式两类，按照灯丝发射电子束方式的不同扫描电镜分为热游离（钨灯丝/六硼化镧）和场发射（热场和冷场）两大类。传统的落地式钨灯丝扫描电镜的极限分辨率一般在3纳米左右，落地式场发射扫描电镜的分辨率可优于1纳米，可用于观察和分析样品非常细节的形貌和成分信息。目前，我国扫描电镜的市场主要被欧美和日本厂家占据，如美国赛默飞、德国蔡司、捷克泰斯肯、日本日立和日本电子，几大厂家总市场占有率超90%，特别是高端场发射扫描电镜市场几乎被国外厂家占据。国产扫描电镜在过往只在入门级扫描电镜中占有极少的市场份额，在高端扫描电镜市场几乎为零，一定程度上限制着我国半导体、新材料、生物医药和航空航天等领域关键技术的研发与生产。为打破国外的技术垄断，确保“卡脖子”技术产品的供货安全，亟需研制和生产我国自己的高端扫描电镜产品，以满足科研和工业生产的需求。屹东光学自主研发的高分辨热场发射扫描电镜及其系列产品，有望成为国产高端电镜竞争替代的中坚力量。

　　屹东光学总经理尉东光表示：电子显微镜及相关技术是现代科研开发、生产制造过程中不可或缺的高技术装备，扫描电镜被列为制约我国科技经济发展的35项“卡脖子”技术之一。屹东光学技术团队通过多年攻关，开发出了拥有完全自主知识产权的场发射扫描电子显微镜，目前正在开发具有亚纳米分辨率的第二代场发射扫描电子显微镜。未来，屹东光学将持续聚焦高端带电粒子束产品的研制和开发，为国产高端仪器发展注入新活力，为客户提供更多优质的产品和服务。

　　国科创投生命科技投资团队表示：高端科学仪器是衡量一个国家科技发展水平与潜力的重要标志。高端电镜属于国内“卡脖子”技术，下游应用领域广泛。屹东光学的团队具有国际化视野和多款高端电镜产品的研发和创新迭代经验，技术产品有很强的竞争力，并已获得多家下游客户的认可。国科创投希望能够助力屹东光学团队打造国内带电粒子技术装备领域的领军企业，为实现高水平科技自立自强、产业链高质量发展贡献力量。

　　乾融控股董事长叶晓明表示：带电粒子(电子、离子)光学技术是支撑着一大批现代科研开发、生产制造过程中不可或缺的具有节点性质的“卡脖子”技术，急需进行国产化替代。屹东光学团队具有全球行业TOP公司丰富的项目开发迭代和客户服务经验，产品完全正向开发，获得科技部重大专项的支持和认可。公司储备项目丰富，团队务实勤奋，目标明确，执行力优秀，我们坚定看好屹东光学的未来前景，并将利用乾融生态圈的优势持续助力公司的发展。

　　敦行资本表示：高端电镜是科研仪器核心门类，也是我国科技领域依然被“卡脖子”的重要领域，在科研、半导体、生物技术、新能源等诸多领域发挥着无可比拟的关键性作用。屹东光学团队克服重重困难，持续开展科研攻关，目前技术能力已走在国内前列。我们期待屹东光学不断开拓创新，打造出高端仪器的闪亮品牌。