南京埃米仪器科技有限公司（下简称：埃米仪器）完成数千万元Pre-A轮融资，博将资本领投。本轮融资将用于进一步提升先进半导体制程用的高精密量测设备的国产替代能力，丰富产品种类，加大市场开拓力度能力。       埃米仪器成立于2022年，公司成立以来一直引领国内高精密 3D 量测设备的国产化，攻克核心技术。产品聚焦于纳米/亚纳米级三维结构的高精密高速量/检测装备。产品主要应用于芯片制程中的微结构量测和缺陷检测，解决相关领域的卡脖子技术。       截止目前，埃米仪器已推出在线工业级原子力显微镜量测设备APEX-X1（全自动机台）、科研级原子力显微镜量测设备APEX-1000 （半自动机台）、高速光学扫描轮廓仪UltraView-1000、UltraView-2000等。未来将持续推出混合量测设备、高通量原子力显微镜等设备。其在线工业级原子力显微镜APEX-X1已完成某芯片头部企业的产品正式交付。       博将资本该项目投资负责人陆元昊表示，量测设备未来将与光刻设备并行发展，发挥至关重要的作用，而原子力显微镜作为精度最高的量测设备，在先进制程中正在成为量检测主力设备。埃米仪器仅成立2年时间便成功研发出国内首台在线工业级原子力显微镜并已实现在某头部芯片客户交付。同时，公司通过推动高通量AFM、混合量测等方式弥补传统AFM机台在量检测速度的限制，将大大拓宽传统原子力显微镜的应用领域。我们坚定看好公司的发展，未来也将在多方面持续支持公司。       关于南京埃米仪器科技有限公司       南京埃米仪器科技有限公司是一家致力于研发和生产用于芯片制造高精密量测设备的技术企业。公司以芯片制造企业为主要客户，产品聚焦芯片制造过程中晶圆表面粗糙度、CMP 轮廓、光刻及刻蚀中的三维结构等关键指标的在线检测和量测，助力客户大幅提高产品的良率、缩短工艺的研发进程。