中国仪器仪表学会分析仪器分会
嘉宾介绍

姓名:曹永友

单位:北京北方华创微电子装备有限公司

职务:高级工程师

曹永友,高级工程师,2015年博士毕业于清华大学机械系及材料学院,后加入北京北方华创微电子装备有限公司,现任供应链技木发展中心总经理兼材料技术部总监、公司技委会机械/材抖/ESC分会常委、中级讲师。主要负贵公司零部件材料技木平台能力建设,参与或负责多项装备用零部件,零部件用材料等关键技术攻关项目。历任刻蚀事业部机械工程师、供应链企划部部长、供应链工程技术部部长、供应链技术认证部长、先进材料研究中心主任、供应链工程技术中心总经理。专长领域包括:集成电路设备工艺技术、半导体设备腔室材料及表面工程、材料加工计算模拟仿真、半导体洁净制造理论、精确拷贝、质量管理、装备零部件用超高纯材料(陶瓷/石英/石墨/不锈钢/铝合金等)、高阶涂层及表处、微污染控制、精密洗净等。已发表论文12篇(SCI6篇),申请7项专利,已授权4项。
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